洁净室工程完成后，项目经理会进行初步的验收检测，经常需要检测的项目有风速、换气次数、湿度、温度、压差等。当初步检测合格后，然后，提请建设单位予以竣工验收。
按照检测状态，洁净室工程的验收可分为空态、静态、动态。竣工验收阶段的检测宜在空态或静态下进行，应由建设方、设计方和施工方协商确定，一般是在空态下进行；功能验收阶段的检测应在静态下进行。
一、空态验收(IQ)
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员
检测项目：洁净室设备的成套性、安装质量、压差、气流特性、表面洁净度、维护结构的密封性等。
二、静态验收(OQ)
设施已经建成，生产设备已经安装，并开始运行，但无生产人员
检测项目：洁净区划分是否符合要求；确定自净时间参数；确定温度和湿度的稳定性;按粒子数确定洁净级别；确定压差；确定照度；确定噪声级；目视检查气流并检查换气次数。
三、动态验收(PQ)
设施已按规定的状态运行，有规定的人员子在场，并在商定的状态下进行
检测项目：验证洁净室分割制度；评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力；验证压差；检查洁净室运行文件的成套性；检查人员是否经过培训。
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