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在我国，净化车间技术起始于上世纪60年代。当时，净化车间技术是为满足精密仪器、航空仪表及电子行业的产品质量需求，满足这些行业的加工和实验研究的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性而诞生的一门新兴技术。现在，净化车间技术已经广泛应用于电子、制药、医1疗卫生、生物工程、实验室、食品、化妆品和仪器仪表、航空航天等多种产业。
对于无尘车间面积小，较分散；对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是投资费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。
风热湿比线占。
②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。
③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。
④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。
QK／GK=△f=iN -/K 。
以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。
⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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