在我们的生活中,各处都能看到安全出口的标志。那么在无尘车间工程中,安全出口该怎么设置呢?
首先,在无尘车间安全出口上建议是设置玻璃门的,且在玻璃门的旁边应该防止了救生斧或者破窗锤,一遍在较为紧急的情况下可以直接破门而出。但也要注意救生斧和破窗锤的使用方法,要平常人就能够使用且不易伤人的。
其次,在无尘车间的安全出口门上设置开关,建议设置成只能从里往外开。如此一来可以很好地防止门被从外面打开,破坏实验室的密封性。
在上述的安全出口门外,还应再有一扇门。这个门才是主要阻拦无关人员随意进入无尘车间的门,里面的门主要是为了起到密封的作用。
合理地设置无尘车间的安全出才能较好的保护操作人员和设备的安全。
无尘车间对装饰装修有很高的要求,尤其对饰面材料在施工时需注意防积尘和抗静电。为此,并制定了相应的施工措施。
(1)在内墙面层施工时,为保证腻子施工质量,先在抹灰面上涂刷一遍封闭漆结合层,再满刮腻子后涂刷抗静电高分子复合涂料,使墙面达到平整、清洁、不起尘的洁净要求。
(2)厂房内洁净区采用环氧树脂自流平地面,该地面施工速度快,耐腐蚀,整体性好,光滑平整,不起尘,寿命持久。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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