随着电子机械行业的发展,很多精密电子行业开始对于生产环境的洁净度有了更高层次的要求。这就需要无尘车间的生产方需要达到更高的技术水平和空间净化能力来应对行业的需求。
在精密机械行业中,大量的环境因素会直接或者间接地影响到产品的生产和质量。以胶片相机为例,若是空气中的尘埃数量超标,则直接会影响到后续相机内胶片的存储。尘埃污染胶片之后会产生氧化,直接影响到相片的曝光。而且,如果无尘车间的洁净没做到位,甚至空气中水份的PH值都会影响到了某些敏感金属的成型。
净化车间中对光源有特殊请求的车间,如:显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间,为了防止感光材料的感光,必须运用黄色或红色光源的,应满意其特殊请求选用黄色荧光灯管或低压钠灯,黄色荧光灯管也有两种,一种为灯管内壁涂黄色荧光粉;另一种为白色荧光灯管外套黄色塑料套管,他们的光通量比通常荧光灯都要低。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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