对于大部分的无尘净化车间来说,为了保持内部空间的洁净度,需要将内部的静态压力保持在高于外部静态压力的情况下。这种压力差一般要符合一下原则:
1、无尘净化车间内的压力要恒定高于非洁净区域空间的压力。
2、同一个无尘净化车间内的区域,洁净度高的区域压力要恒定高于洁净度低的区域。
3、两个相通的无尘净化车间之间,开门方向要朝向洁净度更高的区域。
保持无尘净化车间中压力差的主要源头是送风量,且在考虑送风量的时候还要考虑到在压力差的情况下会从缝隙泄漏的空气。
另外,送风量带来的压力主要给予了无尘净化车间压力数量的差别,要在一定时间内造成一定的压力差,还需要一定的气流速度来作为辅助手段,也就是所谓的风速控制。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
无尘车间生产线十万级(食品级)无尘车间由更衣室、风淋系统、净化车间组成。1.更衣室:保持对人员的衣物净化,所有进入无尘车间的人员必须换上十万级洁净服装。十万级无尘车间更衣室2.风淋系统:是进出净化车间的主要通道,利用喷出的高速洁净气流有效迅速清除人体所携带的灰尘。完毕后方可进入无尘净化车间。风淋系统3.净化车间(核心):净化车间由中央空调和空气净化系统构成,是整个十万级无尘车间的心脏。控制、净化车间空气灰尘微粒并调节温度和湿度,确保产品清洁度。无车车间生产线一道道看似复杂的流程,实则是为了确保产品的品质。始终坚持“以客户为中心,以市场为导向,创造价值者为本”。
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