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对于大部分的无尘净化车间来说，为了保持内部空间的洁净度，需要将内部的静态压力保持在高于外部静态压力的情况下。这种压力差一般要符合一下原则：
1、无尘净化车间内的压力要恒定高于非洁净区域空间的压力。
2、同一个无尘净化车间内的区域，洁净度高的区域压力要恒定高于洁净度低的区域。
3、两个相通的无尘净化车间之间，开门方向要朝向洁净度更高的区域。
保持无尘净化车间中压力差的主要源头是送风量，且在考虑送风量的时候还要考虑到在压力差的情况下会从缝隙泄漏的空气。
另外，送风量带来的压力主要给予了无尘净化车间压力数量的差别，要在一定时间内造成一定的压力差，还需要一定的气流速度来作为辅助手段，也就是所谓的风速控制。
无尘车间内之注意事项
1、进入无尘车间之油漆或物品须先经空气清洗除尘之手续。
2、在无尘车间中制止抓头、抹脸或搓手。
3、严禁在设备上书写及刻画。
4、在无尘室有必要运用洁无尘室纸笔。
5、防止在机器上运用胶带张贴纸张。
6、当运用气1枪时，有必要置于除尘抽风口，以免尘埃污染产品。
异常情况处理
1、在设备发生异常情况（非紧迫情况），请先与设备之担任人或设备部工程师联络后再作处置。
2、遇有气体外泄，化学品翻洒及火警等紧迫情况请告诉担任人员。
废弃物处理
1、一切废弃物及用过之化学品应依规则之方式处理及倾倒。
2、随时坚持整洁，勿将废物留给别人，手套、指套、废弃物请勿随手丢，应置入废物桶内。
3、勿将酸及有1机溶剂混合倾倒，以免爆1破。
4、有1机废溶剂应倒入容器中贮存，勿倒入排水体系中。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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