无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
进入无尘车间的有哪些清洁要求?
(1)清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂;
(3)使用已获批准的洁净室去污剂;
(4)每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。
(5)每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。
(6)清洁洁净室的地面应使用拖把。
(7)所有的门都需要检查并擦干。
(8)吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(9)架空地板下也要吸尘及擦拭。
(10)三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(11)工作时一定要记住,是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
无尘生产车间洁净度的要求
如何实现无尘生产车间的清洁?为了达到工艺要求的清洁效果,无尘生产车间在施工前必须合理了解车间要求的工艺、洁净度水平和特殊要求。在施工过程中,需要小心合理的施工和安装。1重要的是正确使用无尘生产车间,合理维护车间管理制度,使无尘生产车间达到良好的净化效果,达到要求的洁净度。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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