怎样做好净化车间装修?
首先夏季的高温带来的是对建筑工人身体的影响,但这还算是其次。较为重要的便是高温对于无尘净化车间的各种材料的影响。高温往往会使得一些建筑材料出现性能上的偏差,所以在夏季对无尘净化车间进行施工,尤其要注意这些材料的贮存工作。
还有就是夏季干燥所带来的尘土。无尘净化车间本身是对尘埃粒子数量较为严格的建筑,所以在夏天这种干燥的季节,尘埃的增多往往会使得无尘净化车间的洁净度受到很大的影响。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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