杭州豪俊净化工程有限公司

无尘净化车间的净化要求除了对空间内粉尘粒子数量的控制之外，还需要对温度、湿度、压力等因素进行控制。而在一些较为特殊的条件下，这些条件的控制会变得困难起来，较为典型的便是冬季的低温。

   在冬季，外界的低温是无法进行人为控制的，而外界的低温往往会容易会影响到室内，导致无尘净化车间室内的温度环境控制变得困难。虽然绝大部分的无尘净化车间都是安装有温度控制的空调，但由于外界温度较低，空调需要长时间工作供暖。而长时间供暖带来的问题就是室内的温度在一定时间后会上升到额定范围之外，而降温又太过急剧，严重影响生产和实验的进行。另外，空调长时间供暖带来的另外一个问题就是能源的加速使用，这对环保也是非常不友好的。

百级、千级、万级无尘车间之间的区别在哪里呢? 1主要是在于空气中各粒径档1大容许粒子浓度不一样。 

　　1、百级无尘车间0.5微米的1大容许粒子浓度小于3520(pc/m3)，5微米的1大容许粒子浓度小于293(pc/m3)。 

　　2、千级无尘车间0.5微米的1大容许粒子浓度小于35200(pc/m3)，5微米的1大容许粒子浓度小于2930(pc/m3)。 

　　3、万级无尘车间0.5微米的1大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的1大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。