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根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
无尘车间温湿度是如何的？温湿度在无尘车间起到什么作用呢？是这样的，无尘车间温湿度是检验无尘车间内部稳定性的一项重要工作，目的是确认空气处理设施的温度控制能力。无尘车间湿度的测试通常采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同，建议采用一同测试。
无尘车间的温湿度测试的具体要求从下面反映：
无尘车间温度测试有功能度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用；一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。而且1好就是在进行调试，气流均匀性测试时完成。无尘车间功能温度测试，应将无尘车间工作区划分为等面积的栅格，1好每个分格面积不超过100平方米，也可以与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。无尘车间温度测试需要在净化空调系统连续运行24H以上之后再进行。
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