什么是无尘车间,无尘车间指的是在一定的空间范围内,将空气中有害粒子(微生物、细节)等污染物控制在一定的范围内,使之不会对生产或工作造成负1面影响,并将空间内的温湿度、压力、静电等条件控制也控制在某一范围内的车间内建筑。
在建设无尘车间的时候,首先需要安装的有空气净化系统。其中包括进风系统、排风系统、净化空调、过滤器等。其中的进风和排风系统和回风系统相差不大,都是以空气的流通和过滤来达到控制车间内微尘粒子数量的目的。
无尘车间设计噪音的控制:
1、声压级应该根据人员的舒适和安全及环境(如其它设备)产牛的背景声压级来选择需要的声雎级。洁净室.漫施标准的A-1J权声压级范围在55 dB - 65 dB。有些应用可能要求的级别较低,或能容忍较高的级别。噪声控制的测量应该按照IS0 3746进行。
2、洁净室设施巾振动是个需要考虑的重要问题,凶为它对工艺、人的舒适和设备及系统的有效使用期限都会产生不利的影响。
3、净化车间设计安装中应通过采用风机和振动控制设备等方法尽可能减少振动,或把振动源隔离。
4、如要求控制振动,应按IS0 1940-1和IS0 10816-1规定允许的级别。
5、无尘车间设计应该考虑节能措施,如在没有任何活动时减少或关闭温度和湿度控制,降低空气流速。但应能够在规定的自净期内恢复到使用条件。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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