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在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
无尘车间对装饰装修有很高的要求，尤其对饰面材料在施工时需注意防积尘和抗静电。为此，并制定了相应的施工措施。
（1）在内墙面层施工时，为保证腻子施工质量，先在抹灰面上涂刷一遍封闭漆结合层，再满刮腻子后涂刷抗静电高分子复合涂料，使墙面达到平整、清洁、不起尘的洁净要求。
（2）厂房内洁净区采用环氧树脂自流平地面，该地面施工速度快，耐腐蚀，整体性好，光滑平整，不起尘，寿命持久。
10万级无尘车间标准：尘粒1大允许数大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大于或等于5微米的粒子数不得超过20000个。
尘粒无处不在，侵蚀风化产生的，人体自然散发的，数不胜数，严重干扰电子光学产品的生产。此外，尘粒是细菌、病毒的良好的载体，也影响了食品的加工。净化车间工程的首要任务便是“除尘”。
0.5微米是什么概念?一根头发丝的直径约为70～100微米，细菌的大小约为1微米～2微米，通过净化空气系统，使大于或等于5微米的粒子数不得超过20000个，洁净度非常高。
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