在应用净化车间技术的相关行业中,电子行业对洁净及相关受控环境依赖性相当大,洁净技术在电子行业应用约占整个洁净行业市场的67%。在我国,电子行业每年花费在洁净室方面的费用约为50亿元,其中,以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。另外,平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业,也是电子厂净化车间的重要用户。据调查,世界上面积相当大的洁净室即应用于平板显示行业,一个单体的净化车间厂房面积可容纳32架飞机。
在无尘车间工程开始之前,要先确定整个工程的规范和流程才能让后续的施工和使用得到有条不紊的进展。其具体如下:
1.首先要确定无尘车间工程的目的,此步骤主要在于确定无尘车间为何而建,建设的要求,建设完成之后要达到的效果。
2.确定整个无尘车间工程的施工范围以及洁净度的范围。其中洁净度的范围包括温湿度的范围、粒子数目的范围、风量和风速的范围。
3.确定整个无尘车间工程中的全责,哪个人负责那一区域的净化、哪个人负责哪个产品的净化、哪个人负责指导、哪个人负责检查。
4.确定作业的内容,具体如净化空调怎么安装、地板和墙面怎么安装、安装时采用什么主材料和辅助材料。
5.确定完成作业之后的维护方法,并且交代相关的工作人员进行定期检查。
净化车间中对光源有特殊请求的车间,如:显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间,为了防止感光材料的感光,必须运用黄色或红色光源的,应满意其特殊请求选用黄色荧光灯管或低压钠灯,黄色荧光灯管也有两种,一种为灯管内壁涂黄色荧光粉;另一种为白色荧光灯管外套黄色塑料套管,他们的光通量比通常荧光灯都要低。
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