在一些集成电路的精密机械车间中,对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围,原因在于集成电路的零部件极1小,微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩,直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域,在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁,保证其上含有的污染物被清除,不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
无尘车间装修过程中,只有技术人员综合协调各个内容之间的配合,才能达到对无尘车间需要控制的各项参数的良好控制,所以无尘车间建设过程很重要,在建设无尘车间的时候,一定要注意一些基本原则事项,保证无尘车间顺利的完成。接下来豪俊小编来给大家分享无尘车间建设四不原则:
1、不带入:不向无尘车间带人任何灰尘,必须确保以下条件:
A、过滤器与结构不产生灰尘泄漏。
B、保持无尘车间正压。
C、人员经更衣换鞋、风淋后方可进入无尘车间。
D、材料与设备经清洗后方可进入无尘车间。
2、不产生:不在无尘车间产生任何灰尘,必须确保以下条件:
A、人员应穿洁净服。
B、不使用容易产生灰尘的材料与设备。
C、不进行不必要的移动。
D、不带入无用品。
3、不积累:不在无尘车间积累任何灰尘,必须确保以下条件:
A、不使设备角和四周清洁困难。
B、无尘车间尽量不暴露风管和管道。
C、遵守标准化净化工作程序。
4、快速去除:快速去除无尘车间内灰尘,必须做到以下几点:
A、增加换气率。
B、在靠近产生灰尘的地方设置排气装置。
C、采用合适的气流形式以避免灰尘粘在产品上
无尘车间相对湿度控制不好,就有可能使无尘车间总体表现下降,而且还会带来以下这些一系列的影响。
1、细菌生长。细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。而相对湿度处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感1染降至1低。所以无尘车间的相对湿度需要控制在一定范围。
2、相对湿度控制不好,容易造成无尘车间工程里的金属腐蚀。很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;另一种金属,例如氧化铜,是不具有保护能力的。在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。
3、无尘车间相对湿度控制不好会出现静电荷。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但是当相对湿度小于30%时,它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。无尘车间相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中,半导体无尘车间一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。
4、吸水性。相对湿度控制不好,对无尘车间吸水性产出一定的影响。
5、水汽冷凝。在相对湿度较高的无尘车间工程环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩,就是当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。
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