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在我国，净化车间技术起始于上世纪60年代。当时，净化车间技术是为满足精密仪器、航空仪表及电子行业的产品质量需求，满足这些行业的加工和实验研究的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性而诞生的一门新兴技术。现在，净化车间技术已经广泛应用于电子、制药、医1疗卫生、生物工程、实验室、食品、化妆品和仪器仪表、航空航天等多种产业。
无尘车间温湿度标准：温度控制在22 ℃ 左右，相对湿度控制在 55 ～ 60%RH
由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。需要消除静电，并使人也感觉舒适。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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