在无尘车间工程开始之前,要先确定整个工程的规范和流程才能让后续的施工和使用得到有条不紊的进展。其具体如下:
1.首先要确定无尘车间工程的目的,此步骤主要在于确定无尘车间为何而建,建设的要求,建设完成之后要达到的效果。
2.确定整个无尘车间工程的施工范围以及洁净度的范围。其中洁净度的范围包括温湿度的范围、粒子数目的范围、风量和风速的范围。
3.确定整个无尘车间工程中的全责,哪个人负责那一区域的净化、哪个人负责哪个产品的净化、哪个人负责指导、哪个人负责检查。
4.确定作业的内容,具体如净化空调怎么安装、地板和墙面怎么安装、安装时采用什么主材料和辅助材料。
5.确定完成作业之后的维护方法,并且交代相关的工作人员进行定期检查。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
保健1品无尘车间地面
GMP净化车间地面、墙壁、天花板使用浅色、无毒、耐用、平整、以清晰的覆盖材料。地面应有充足的坡度,不积水,墙角、地角、顶角应接缝良好,光滑易清洗;
保健1品净化车间内地面较多采用硬度好、耐冲击、附着力强、不易起尘且耐热水、酸碱腐蚀的自流平环氧树脂地面,以提高洁净度并使外观平整明亮。
在保健1品净化车间内采用免接触式的感应水龙头和手消毒器,避免接触污染,更符合GMP卫生要求。
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