在应用净化车间技术的相关行业中,电子行业对洁净及相关受控环境依赖性相当大,洁净技术在电子行业应用约占整个洁净行业市场的67%。在我国,电子行业每年花费在洁净室方面的费用约为50亿元,其中,以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。另外,平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业,也是电子厂净化车间的重要用户。据调查,世界上面积相当大的洁净室即应用于平板显示行业,一个单体的净化车间厂房面积可容纳32架飞机。
环保和节能一直都是各个行业生产和开发侧重的目标,无尘净化车间建设长期以来注重的都是室内的清洁,往往忽略了节能和对外界的环保概念。
随着无尘净化车间产业的渐渐壮大,各个厂家开始将目光转向节能环保的目标,各种措施和手段也开始渐渐实施。
从无尘净化车间的设计来说,各个厂家已经开始注重从车间的样式设计开始考虑对能源的节约。只要特点为降低外墙的建筑面积、采用隔热性能和密封性能较好的建筑材料。这些措施从节流的方面做到了节能的效果。
其次,对于无尘净化车间整体面积的缩小也开始实施。整体建设面积的变小使得室内的送风换气量出现明显的下降,既满足了室内洁净度更高的要求,也达到了节能减排的效果。既注重了无尘净化车间本身的节能,也估计了对外界环境的环保。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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