洁净实验室是一个全密闭的环境,通过空调送、回风系统的初、中、过滤器,使室内环境空气不断循环过滤,以保证空气悬浮粒子受控到一定浓度。洁净实验室1主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中检测、科研。所以洁净实验室通常也叫超净实验室,洁净实验室,净化实验室等。
通风系统设计是实验室净化中的重中之重,也是实验室建设成败的关键因素。实验室净化通风系统设计包含排风系统和补风系统两方面。实验室通风系统的设计应根据相关规范,排风系统则需要通过实际实验室所需排风风量、管道长度、管道走向以及现场实际情况,依据流体力学进行综合的分析计算,科学合理的设计排风系统,进而达到设计上洁净实验室的安全、舒适、节能等目的。
空调通风系统必须使洁净实验室维持一定的正压或负压
洁净实验室中,机械仪器设备洁净室和一般生物洁净室都是采用正压维持, 但对于使用有毒、有害气体或使用易1燃易1爆溶剂以及其他有特殊要求的洁净实验室则采用负压控制。
洁净实验室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、是维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。即便是负压洁净室,它也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定的正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。
洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。不同等级的洁净实验室以及实验室内洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于5Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于10 Pa.。
此外,洁净实验室对于风量,风速等各项指标的技术要求也都非常严格,因此,空调系统必须能够满足对其参数进行精1确的控制。
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